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テンプ・プレート (真空用)

TEMP-PLATE

貼っておくだけで表面温度を記録! (真空内測定対応)
テンプ・プレート (真空用)

テンプ・プレート (真空用)とは

テンプ・プレートは、真空炉内・プラズマ環境下などの温度測定ラベルです。
貼っておくだけで「表面温度」を記録。水、蒸気、ガス、薬品などの影響を受けません。

 

※真空内の温度測定対応サーモラベル ・プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー
※裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)
※従来タイプのような、カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮 様々な環境に対応できる様、各種温度帯域・サイズをご用意しております。

特徴

■不可逆なので確実な永久記録
■常時監視することなく温度把握
■接近しにくい箇所(手で触れない箇所など)の測定が可能
■すべてのレンジにカプトンフィルム使用

【101-4Vシリーズ(小型パーツ)】
■4点表示・小型シール
■半導体・IC製造プロセス・真空炉内に最適
■カバーの裏面印刷により真空内での印刷インク飛散防止
■プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー

【101-6Vシリーズ(小型パーツ)】
■6点表示・小型シール
■エッチング、スパッタリング、その他真空内温度測定に。
■プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー
■裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)
■カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮
■貼り付け精度向上

【101-8Vシリーズ(小型パーツ)】
■8点表示・小型シール
■真空炉内に最適
■トランス、コンピュータのハウジング、ディスク、ドラムのテストに最適

【430Vシリーズ(ミニパーツ)】
■3点表示・真空用超小型シール 真空用・世界最小
■ラベルの端から示温素子まで1mm。ウェハ・エッジの温度を測ることが出来る
■プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー
■裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)
■カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮
■貼り付け精度向上

【450シリーズ(ミニパーツ)】
■4点表示・真空内測定対応シール
■プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー
■裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)
■従来タイプのような、カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮(従来の441シリーズの1/3)
■貼り付け精度向上ラベルの端から示温素子中心まで2mm。ウエハー・エッジの温度を測る事が出来る

仕様

■サイズ/点式
 101-4Vシリーズ:縦10mm × 横21mm/4点式
 101-6Vシリーズ:縦10mm × 横29mm/6点式
 101-8Vシリーズ:縦10mm × 横38mm/8点式
 430Vシリーズ:縦3mm × 横8mm/3点式
 450シリーズ:縦5mm × 横16mm/4点式

■用途:温度のみ
■形状:ラベル・シールタイプ
■可逆・不可逆:不可逆 (もどらない)
■温度帯:37~260℃ (温度帯は、下記の詳細仕様をご覧ください)
■反応変色:灰色⇒黒
■反応速度:1秒 (水中、緩やかな熱勾配)
■精度:±1% (100℃以下±1℃)

※精度、反応速度は1気圧における融点利用。

テンプ・プレート

商品のご注文

商品選択 商品名 型番 販売単位 価格 納期 数量
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-037 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-043 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-065 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-082 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-087 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-093 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-095 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-110 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-132 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-154 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-176 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-177 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-198 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-199 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-4Vシリーズ (小型パーツ) 101-4V-223 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-6Vシリーズ (小型パーツ) 101-6V-043 10枚入 ¥6,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-6Vシリーズ (小型パーツ) 101-6V-076 10枚入 ¥6,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-6Vシリーズ (小型パーツ) 101-6V-110 10枚入 ¥6,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-6Vシリーズ (小型パーツ) 101-6V-143 10枚入 ¥6,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-6Vシリーズ (小型パーツ) 101-6V-176 10枚入 ¥6,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-6Vシリーズ (小型パーツ) 101-6V-215 10枚入 ¥6,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-8Vシリーズ (小型パーツ) 101-8V-043 10枚入 ¥8,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-8Vシリーズ (小型パーツ) 101-8V-087 10枚入 ¥8,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-8Vシリーズ (小型パーツ) 101-8V-132 10枚入 ¥8,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 101-8Vシリーズ (小型パーツ) 101-8V-176 10枚入 ¥8,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-040 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-048 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-065 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-083 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-099 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-115 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-132 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-148 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-165 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-182 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-198 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-215 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 430Vシリーズ (ミニパーツ) 430V-240 10枚入 ¥4,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-043 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-065 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-087 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-110 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-132 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-154 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-176 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-198 10枚入 ¥5,000 2-5日
テンプ・プレート (真空用) 450シリーズ (ミニパーツ) 450-223 10枚入 ¥5,000 2-5日

商品のご注文・お見積書印刷は、表左端の「商品選択」欄のご希望商品をチェックして、「商品を注文する」ボタンをクリックしてください。

使用方法・注意点

テンプ・プレート【使用上のご注意】
※貼付けする面は、水、グリス、ほこりその他を拭ってから貼ってください。
 完全に密着する必要があります。
※マサツ抵抗が加わる状態や、高い圧力のもとでは正しい示温をしません。(エレメントが溶かされる)
※表面に若干の水や液体をかぶっても示温しますが、長時間にわたる液体中での使用のときは、
 周囲を耐熱性接着剤で完全にシールドしてください。
※強い減圧雰囲気内では、表面印刷インクがハガレル事があります。
 カプトン・テープで表面をカバーしてください。(101-4Vは裏面印刷ゆえ大丈夫です)

※減圧でエレメントが窓に吸着し、クモリガラス現象で黒変を外から確認できない時は、
 分解してエレメントが溶けているか否かで判定する事になります。
※高真空中、電磁誘導加熱、長時間加熱や、300℃以上の温度経験が予想されるケースなどでは、使用上の制限があります。
 詳細はご相談ください。
※夏季は、輸送途中で60℃位の雰囲気を経験し、黒変してしまうことがあるので、60℃以下のレンジを含むラベルの納品輸送中の感温変色は、
 当社の責任外とします。
※特殊条件の用途は、予めご相談ください。

【保管について】
※30℃以下の場所で保管して下さい。特に60℃以下のレンジについては、冷蔵庫内をお勧めします。
※湿気も嫌います。
※保存寿命は、およそ1年位です。

こんなところに使われています

■エレクトロニクス
半導体の製造装置のウエハの実温測定、LCD製造装置における硝子基板の温度測定、真空装置の内部治具の温度測定真空装置・真空ポンプ等の温度管理、 基板予熱、ICテスト、変圧器、通電点検、ハンダ付け、コンピュータ保守、など。

■機械・装置
エンジン、モーター、ラジエータ、ベアリング、ヒーター、ボイラー、パイプライン、航空宇宙、など。

■各種の産業現場
生産製造工程の温度管理、熱処理の適正温度の把握、オーバーヒートの検出、装置・設置のメンテナンス、など。

詳細仕様

101-4Vシリーズ(小型パーツ)

101-4Vシリーズ

[縦10mm × 横21mm/4点式]

真空測定対応小型シール。
全てのレンジにカプトンフィルムを使用。

  • 用途 : 温度のみ
  • 温度帯 : 37~254℃
  • 不可逆タイプ (一度変色すると戻りません)
101-4Vシリーズ
型番 温度レンジ(℃)
101-4V-037 37-43-48-54
101-4V-043 43-48-54-60
101-4V-065 65-71-76-82
101-4V-082 82-93-110-121
101-4V-087 87-93-98-104
101-4V-093 93-98-104-110
101-4V-095 93-121-148-176
101-4V-110 110-115-121-126
101-4V-132 132-137-143-148
101-4V-154 154-160-165-171
101-4V-176 176-182-187-193
101-4V-177 176-204-232-260
101-4V-198 198-204-210-215
101-4V-199 198-210-223-232
101-4V-223 223-232-240-254

101-6Vシリーズ(小型パーツ)

101-6Vシリーズ

[縦10mm × 横29mm/6点式]

真空測定対応小型シール。
全てのレンジにカプトンフィルムを使用。

  • 用途 : 温度のみ
  • 温度帯 : 43~260℃
  • 不可逆タイプ (一度変色すると戻りません)
101-6Vシリーズ
型番 温度レンジ(℃)
101-6V-043 43-48-54-60-65-71
101-6V-076 76-82-87-93-98-104
101-6V-110 110-115-121-126-132-137
101-6V-143 143-148-154-160-165-171
101-6V-176 176-182-187-193-198-204
101-6V-215 215-223-232-240-248-260

101-8Vシリーズ(小型パーツ)

101-8Vシリーズ

[縦10mm × 横38mm/8点式]

真空測定対応小型シール。
全てのレンジにカプトンフィルムを使用。

  • 用途 : 温度のみ
  • 温度帯 : 43~260℃
  • 不可逆タイプ (一度変色すると戻りません)
101-8Vシリーズ
型番 温度レンジ(℃)
101-8V-043 43-48-54-60-65-71-76-82
101-8V-087 87-93-98-104-110-115-121-126
101-8V-132 132-137-143-148-154-160-165-171
101-8V-176 176-187-198-210-223-232-240-260

430Vシリーズ(ミニパーツ)

430Vシリーズ

[縦3mm × 横8mm/3点式]

真空用・世界最小。
真空測定対応小型シール。
全てのレンジにカプトンフィルムを使用。

  • 用途 : 温度のみ
  • 温度帯 : 43~260℃
  • 不可逆タイプ (一度変色すると戻りません)
430Vシリーズ
型番 温度レンジ(℃)
430V-040 40-43-46
430V-048 48-54-60
430V-065 65-71-77
430V-083 82-88-93
430V-099 99-104-110
430V-115 115-121-126
430V-132 132-137-143
430V-148 148-154-160
430V-165 165-171-176
430V-182 182-187-193
430V-198 198-204-210
430V-215 215-223-232
430V-240 240-249-260

450シリーズ(ミニパーツ)

450シリーズ

[縦5mm × 横16mm/4点式]

ウエハー表面温度測定に最適。
真空測定対応小型シール。
全てのレンジにカプトンフィルムを使用。

  • 用途 : 温度のみ
  • 温度帯 : 43~254℃
  • 不可逆タイプ (一度変色すると戻りません)
450シリーズ
型番 温度レンジ(℃)
450-043 43-48-54-60
450-065 65-71-76-82
450-087 87-93-98-104
450-110 110-115-121-126
450-132 132-137-143-148
450-154 154-160-165-171
450-176 176-182-187-193
450-198 198-204-210-215
450-223 223-232-240-254

構造

断面図・原理

構造図

示温要素の融点を利用しているので、規定温度に達すると、表示素子が解けて、その背後にあるブラックカーボンが融けてインジケータ窓部分に黒く見えます。

カプトン・カバーのタイプは、フィルムの色でインジケータは黄味がかっていますが変色は完全に黒です。