温度検知ラベル 真空用
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真空用サーモラベル（温度分布・最高温度がわかる・4点式）示温材5℃及び10℃間隔で４段階表示。エッチング、真空蒸着、加工工程時の温度管理。 -
テンプ・プレート 真空用 450シリーズ （4点式・ミニ）示温材ウェハ･エッジの温度を測ることが出来る4点不可逆シール。 -
テンプ・プレート 真空用 430Vシリーズ （3点式・ミニ）示温材真空用･世界最小。ウェハ･エッジの温度を測ることが出来る3点不可逆シール。 -
テンプ・プレート 真空用 101-8Vシリーズ（8点式・小型）示温材真空炉内・プラズマ環境下などで利用できる温度測定ラベルです。8点表示・小型シール。 -
テンプ・プレート 真空用 101-6Vシリーズ（6点式・小型）示温材真空炉内・プラズマ環境下などで利用できる温度測定ラベルです。6点表示・小型シール。 -
テンプ・プレート 真空用 101-4Vシリーズ（4点式・小型）示温材真空炉内・プラズマ環境下などで利用できる温度測定ラベルです。4点表示・小型シール。